空调净化系统(HVAC):
核心中的核心:其设计合理性直接决定车间的温湿度、洁净度和压差。
风管制作:必须采用优质镀锌钢板,制作过程要求清洁、密封,防止内部积尘。安装后需进行分段漏风检测。
过滤器安装:高效过滤器(HEPA/ULPA) 的安装是重中之重。必须在现场进行检漏测试(PAO/DOP测试),确保过滤器本身及其与安装框架连接处无泄漏。这是洁净度达标的生命线。
节能考虑:合理选择风机、采用变频控制等技术,以降低后期运行能耗。
电气与照明系统:
灯具:应选用洁净室专用灯具,结构简单、密封性好、不易积尘、易于清洁。照度需符合工艺要求(通常300-500 Lux)。
插座与开关:应选用嵌入式、密封型产品,减少突出表面,防止积尘。
管线穿墙:所有穿过围护结构的管线(电线管、风管、水管)必须进行严格的密封处理,这是维持压差和防止污染的关键。
工艺管道与设施:
给排水:管道材料应耐腐蚀,地漏必须使用洁净室专用密封地漏,防止废气倒灌。
气体管道:高纯气体管道需进行内壁处理(如BA级EP级),确保气体纯度。
设备就位:大型设备应在墙板安装前提前进场。如需后期进入,需规划好通道并制定保护措施。



