必须保证不同区域之间维持合理的静压差(通常 >5Pa),防止污染空气倒灌。核心原则是:洁净度高的区域压力 > 洁净度低的区域 > 走廊/室外。
需要通过余压阀、压差传感器等自动调节装置来精确控制。
必须保证不同区域之间维持合理的静压差(通常 >5Pa),防止污染空气倒灌。核心原则是:洁净度高的区域压力 > 洁净度低的区域 > 走廊/室外。
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